실리콘(Si) 스퍼터링 타겟
실리콘(Si) 스퍼터링 타겟

실리콘(Si) 스퍼터링 타겟

폴리실리콘 또는 폴리실리콘이라고도 불리는 폴리실리콘은 태양광 및 전자 산업에서 원료로 사용되는 고순도 폴리실리콘의 한 형태입니다. 폴리실리콘은 지멘스 공정이라고 하는 화학적 정제 공정을 통해 야금 등급 실리콘에서 생산됩니다.
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제품 설명

 

다결정 실리콘은 폴리실리콘 또는 폴리-Si라고도 하며, 태양광 및 전자 산업에서 원료로 사용되는 고순도 다결정 실리콘입니다. 폴리실리콘은 지멘스 공정이라고 하는 화학적 정제 공정을 통해 야금 등급 실리콘에서 생산됩니다. 이 공정에는 휘발성 실리콘 화합물을 증류하고 고온에서 실리콘으로 분해하는 과정이 포함됩니다. 새롭게 등장한 대체 정제 공정은 유동층 반응기를 사용합니다.

 

태양광 산업은 또한 화학적 정제 공정 대신 야금 공정을 사용하여 업그레이드된 야금 등급 실리콘(UMG-Si)을 생산합니다. 전자 산업을 위해 생산될 때 폴리실리콘은 10억 분의 1(ppb) 미만의 불순물 수준을 포함하는 반면, 폴리결정질 태양 등급 실리콘(SoG-Si)은 일반적으로 덜 순수합니다.

 

폴리실리콘 원료(대형 막대, 일반적으로 특정 크기의 덩어리로 쪼개져 배송 전 청정실에서 포장됨)는 다결정 잉곳으로 직접 주조되거나 재결정 공정을 거쳐 단일 결정 덩어리를 성장시킵니다. 그런 다음 제품을 얇은 실리콘 웨이퍼로 자르고 태양 전지, 집적 회로 및 기타 반도체 장치를 생산하는 데 사용합니다.

실리콘 스퍼터링 타겟은 매우 중요한 기능성 소재로, 주로 자기 스퍼터링 공정을 통해 SiO2, Si3N4 및 기타 유전체 층을 증착하는 데 사용됩니다. 이러한 박막은 우수한 경도, 광학, 유전 특성, 내마모성 및 내식성이 특징이며, LCD 투명 전도성 유리, LOW-E 건축 유리 및 마이크로 전자 분야에 널리 적용됩니다.

 

실리콘(Si) 사양

 

재료 유형

규소

상징

원자량

28.0855

원자 번호

14

색상/외관

푸른빛을 띤 짙은 회색, 반금속성

열 전도성

150 W/m.K

융점(도)

1,410

벌크 저항률

>1 옴-CM

열팽창 계수

2.6 x 10-6/K

 

관련 스퍼터링 재료

 

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인기 탭: 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟, 중국 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟 공급업체, 공장