알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟

알루미늄 스퍼터링 타겟은 금속 알루미늄과 동일한 기능을 합니다. 알루미늄은 기호 Al과 원자 번호 13을 가진 화학 원소입니다. 붕소 그룹의 은백색, 부드럽고 비자성이며 연성이 있는 금속입니다. 알루미늄은 낮은 밀도와 수동화 현상을 통해 부식에 저항하는 능력으로 유명합니다.

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제품 설명

알루미늄 스퍼터링 타겟은 금속 알루미늄과 동일한 기능을 합니다. 알루미늄은 기호 Al과 원자 번호 13을 가진 화학 원소입니다. 붕소 그룹의 은백색, 부드럽고 비자성이며 연성이 있는 금속입니다. 알루미늄은 낮은 밀도와 수동화 현상을 통해 부식에 저항하는 능력으로 유명합니다. 알루미늄과 그 합금은 항공 우주 산업에 필수적이며 건물 외벽과 창틀과 같은 운송 및 건설 산업에 중요합니다. 3N8-4N8 순수 알루미늄은 전해 콘덴서 알루미늄 호일, 조명기구 및 데이터 저장 장치를 압연하는 데 사용됩니다. 5N-6N 초순수 알루미늄은 반도체 장치 제조, 광전자 저장 매체 제작, 초전도 케이블 안정화 재료 및 우주 왕복선 과학 연구에 사용됩니다.

당사에서 생산한 스퍼터링 타겟은 고순도이며, 가장 중요한 이점은 필름이 뛰어난 수준의 전기 전도성을 가지고 PVD 공정 중에 입자 형성이 최소화된다는 것입니다. 아래 양식은 일반적으로 당사의 알루미늄 스퍼터링 타겟은 고순도이며, 가장 중요한 이점은 필름이 뛰어난 수준의 전기 전도성을 가지고 PVD 공정 중에 입자 형성이 최소화된다는 것입니다.

알루미늄 스퍼터링 타겟을 준비하기 위한 공정 흐름

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알루미늄 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법

알루미늄은 보크사이트에서 Al2O3를 추출하여 용융 크리올라이트에서 전기 분해하여 얻습니다. 순도는 일반적으로 99% 이상입니다. 그러나 이러한 순도의 알루미늄은 알루미늄 타겟 생산을 위한 원료로 사용할 수 없습니다. 첫 번째이자 가장 중요한 요구 사항은 고순도입니다. 알루미늄 타겟에 사용되는 고순도 알루미늄은 분리, 3층 전기 분해 또는 복합 구역 제련을 통해 생산됩니다. 가격은 산업용 순수 알루미늄 99.7보다 비쌉니다. 중국에서 가장 높은 순도는 약 99.9999%(6N)입니다. 고순도 알루미늄 잉곳을 원료로 하여 원료를 단조, 압연 및 열처리하면 알루미늄 잉곳의 입자가 더 작아지고 밀도가 증가하여 스퍼터링용 알루미늄 타겟의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 변형 후의 고순도 알루미늄 재료는 기계적 가공을 통해 가공됩니다. 알루미늄 타겟 가공에는 고정밀성과 높은 표면 품질이 필요하며 진공 코팅 기계에서 요구하는 타겟 크기로 가공할 수 있습니다.