니켈-코발트-철 합금의 스퍼터링 타겟에는 특정 비율의 니켈(Ni), 코발트(Co) 및 철(Fe)이 포함되어 있습니다. 이러한 합금은 평면 또는 회전 스퍼터링 타겟으로 만들어지며 반도체, 광전지, 정밀 광학 및 기능성 코팅 산업에 사용됩니다. 이러한 합금의 준비는 구체적이며 균일한 화학 조성, 고체{4}}밀도, 균일한 과립화 및 표면 품질을 달성하기 위해 세부적인 주의가 필요합니다.
니켈-코발트-철합금 스퍼터링 타겟의 제조 방법
원료 용해: 고순도의 니켈, 코발트, 철 블록을 비례하여 진공 유도 용해로에 넣습니다. 재료가 모두 완전히 녹을 때까지 진공 하에서 가열하고, 조성 분리를 방지하기 위해 교반합니다.
주조 및 성형: 용융된 니켈 코발트철 합금을 흑연 주형에 붓고 담금질하여 합금 빌렛을 얻고 조대 입자의 형성을 방지합니다.
단조 및 압연: 합금은 주조 구조를 분해하기 위해 고온 단조 및 열간 압연 공정을 거칩니다.-
가공 및 결합: 니켈-코발트-철 합금 재료를 톱질-하여 모양을 자르고 합성합니다.
니켈-코발트-철 합금 스퍼터링 타겟의 사용
Cu 확산 장벽 층, Ta/CoFe 이중층 전극 및 MTJ(자기 터널 접합)가 없는 층에 사용되는 집적 회로.
박막-필름 태양전지는 후면 전극 또는 버퍼층 역할을 하여 오믹 접촉과 내후성을 향상시킵니다.
저손실 인덕터, 자기 차폐층 및 마이크로{1}}자기 액추에이터 제조에 사용되는 MEMS 및 센서.
표면 기능성 코팅은 자동차 부품, 항공우주 패스너 및 생체의학 임플란트용 내마모성, 내부식성-장식 코팅으로 사용됩니다.
