니켈-크롬-알루미늄-철 합금 스퍼터링 타겟은 주로 니켈, 크롬, 알루미늄 및 철을 포함하는 니켈-기반 다{4}}성분 합금 스퍼터링 타겟입니다. 이는 기능성 박막 제조를 위한 물리적 기상 증착(PVD)에 사용됩니다. 이 합금의 타겟은 항공우주, 에너지 장비, 전자 장치 및 산업용 보호 코팅 분야에서 요구되는 높은-온도 안정성, 내산화성, 내식성 및 우수한 스퍼터링 성능을 갖추고 있습니다.
니켈-크롬-알루미늄-철 합금 스퍼터링 타겟 제조 공정
원료 준비: 고순도(99.95% 이상)의 Fe, Al, Cr 및 Ni를 선택하고 합금 조성에 맞게 설계된 지정된 비율에 따라 중량을 측정합니다(예: Ni:Cr:Al:Fe=74:20:3:3, 이는 다른 구성 요소에 따라 달라질 수 있음). 알루미늄 보호 기능은 마지막에 적용할 경우 산화를 방지하는 데에도 사용할 수 있습니다.
진공 유도 용해: 장입물을 진공 유도로에 넣고 장입물을 완전히 녹일 수 있을 만큼 높은 목표 온도로 가열합니다. 용융물은 완전한 합금화를 돕기 위해 이 온도에서 온도 평형을 이룹니다. 퍼니스는 아르곤으로 퍼지된 후 보호용 불활성 가스로 다시 채워집니다. 이 용융 및 합금화 단계에서는 보호 가스 분위기를 활용하여 균일하게 미세-구조적으로나 조성적으로 합금된 용융물의 획득을 촉진합니다.
주조 및 균질화 어닐링: 용융물을 미리 설계된 주형에 붓고 냉각시켜 잉곳을 얻습니다.- 냉각 후, 균질화 어닐링을 수행하여 조성 편석 및 주조 응력을 제거합니다.
열간 가공 및 마무리: 잉곳을 단조하고, 열간 압연하고, -목표 두께로 얇게 만듭니다. 그런 다음 고용/어닐링 처리를 수행한 후 표면 거칠기 Ra가 1.6μm 이하인 최종 목표 치수로 가공합니다.
니켈-크롬-알루미늄-철 합금 스퍼터링 타겟의 응용
1. 고온 부품, 원자력 - 보호 코팅, 가스 터빈 블레이드, 발전소 보일러 파이프 및 항공기-엔진 부품(터빈 블레이드, 연소실, 핫엔드 부품)용 단열 코팅, 접착층 및 보호 코팅에 사용되는 고온 열 부식 및 산화에 대한 보호 제공
2. 보호 코팅 및 고온 가스 터빈, 원자력 장치, 항공{1}}엔진, 고온 연소실, 보호 코팅 및 가스 터빈 블레이드, 발전소 부스터 및 열 장벽 연소 모듈 오버레이에 사용됩니다.
3. 산업용 보호 코팅 및 장식 코팅 (마모 및 부식 방지 코팅, 장식 도금, 장식용 휴대폰 보호 코팅, 보호 코팅 보석, 보호 코팅 장식 시계, 장식 도금 보호 보석 휴대폰, 시계, 도금 장식 보호 휴대폰, 보석, 시계, 보호 장식 코팅 모바일, 보석, 시계, 장식 보호 코팅 보호, 장식, 모바일, 보석, 시계 포함) 보호 마모 및 장식 도금 모바일 보호 보석 시계, 열 차단 코팅, 모바일 보석 시계를 제공하는 코팅.
