니켈{0}}코발트-바나듐 합금 타겟재는 니켈(Ni), 코발트(Co), 바나듐(V)을 특정 비율로 용융 가공하여 육각형 또는 원형 판 형태로 만들어집니다. PVD(물리적 기상 증착) 기술의 주요 '소스' 물질입니다. 진공 환경에서 마그네트론 스퍼터링이나 아크 이온 도금과 같은 다양한 기술 중 하나를 사용하여 고{4}}에너지 입자가 충격을 가하여 대상 물질 원자 또는 분자가 작업 기판(실리콘 웨이퍼, 유리 또는 금속일 수 있음)의 표면에 얇은 필름 형태로 증착되어 특수 기능성 코팅으로 기판을 코팅합니다.
니켈-코발트-바나듐 합금 스퍼터링 타겟 준비 공정
원료 준비: 순도 99.95% 이상의 전해 니켈 시트와 코발트 및 바나듐 블록을 선택하고 설계된 구성(예: Ni-20Co-5V)에 따라 중량을 측정하여 오염 위험을 방지합니다.
진공 용해: VIM(진공 유도 용해)은 성분의 균일한 용해와 생성된 잉곳의 균일한 구성을 확보하기 위한 일반적인 공정입니다. 치수 균일성을 높이고 분리를 줄이기 위해 여러 재용해 주기에 진공 아크 재용해(VAR)를 적용할 수 있습니다.
열간 단조/열간 압연: 균질화 어닐링 후 잉곳은 여러 사이클의 열간 단조 및 열간 인발을 거치거나 재료 블랭크로 열간 압연되어 미세 구조를 미세화하고 거친 입자를 분해합니다.
열처리: 단조/압연 후 재료는 가공 응력을 완화하고 미세 구조를 100μm 이하의 목표 입자 크기로 미세화하기 위해 재결정 어닐링이 실행되는 추가 가공 단계를 거칩니다.
정밀 가공 및 접합: 재료를 회전하고 연삭하여 크기에 맞게 마무리합니다.
니켈-코발트-바나듐 합금 스퍼터링 타겟 애플리케이션
기능성 보호 코팅: 초-경도, 내마모성-, 고온 저항성-을 지닌 코팅을 이 코팅으로 만들 수 있습니다. 이러한 코팅을 적용하면 항공기 엔진 부품, 터빈 블레이드, 고급{4}}절삭 공구는 물론 금형 표면의 사용 수명과 신뢰성이 크게 향상됩니다.
마이크로전자공학 및 반도체 분야: 이러한 코팅은 확산 방지층 또는 접착층으로 사용됩니다. 집적 회로 제조 내에서 이들은 구리가 실리콘 또는 유전층으로 확산되는 것을 제한하고 구리를 기본 재료에 더 강하게 고정하기 위해 상호 연결 형성 프로세스에 활용됩니다. 이러한 코팅의 주요 장점은 높은 안정성과 낮은 저항입니다.
정밀 광학 및 디스플레이 산업: 밀도가 높고 안정성이 높은 코팅은 물론 전도성 전자파 차폐 박막도 만들 수 있습니다.
데이터 저장 산업: 하드 드라이브 제조에서 우수한 자기 특성과 내마모성을 활용하여 자기 헤드 또는 디스크의 특정 기능 레이어를 준비하는 데 사용될 수 있습니다.
내마모성 및 내식성-부품: Ni{2}}Co-V 합금 박막을 정밀 기계, 중요 자동차 부품, 화학 장비의 표면에 증착하여 표면 경도를 높이고 마찰 계수를 낮추며 내식성을 높입니다.
