구리-니켈-티타늄 스퍼터링 타겟은 구리, 니켈 및 티타늄의 합금을 제어하여 만들어집니다. 합금은 우수한 전기 전도성, 우수한 내식성 및 향상된 기계적 강도를 지닌 재료를 만듭니다. 이러한 특성으로 인해 타겟은 박막 코팅이 필요한 광학, 전도성 레이어가 필요한 전자 제품, 마감 처리가 제공되는 장식 응용 분야, 내구성과 내마모성 코팅이 필요한 기계 분야 등 광범위한 산업 분야에서 사용됩니다.{4}}
구리-니켈-티타늄 합금 타겟 준비 공정 단계
투입물질 준비 : 순도 99.9% 이상의 구리와 니켈을 판상으로, 티타늄을 스펀지상으로 사용한다. 그런 다음 재료를 가져와 원하는 합금 조성에 따라 무게를 측정합니다(Cu: 50-70%, Ni: 20-30%, Ti: 10-20%, 예: Cu-30Ni-5Ti 중량%).
진공 용해 공정: 원료인 구리, 니켈, 티타늄을 위에서 설명한 비율로 도가니에 투입합니다. 더 나은 결과를 얻으려면 녹는점이 더 높은 니켈과 티타늄을 아래에 배치하고 구리를 위에 배치하여 균일하게 녹을 수 있도록 합니다. 그 후, 10^-3 ~ 10^-4 Pa의 진공을 달성하기 위해 용광로를 비운 다음 고순도 아르곤으로 다시 채워 보호 분위기를 조성해야 합니다. 마지막으로 온도를 1600~1800도 범위로 높입니다. 이는 티타늄의 녹는점(1668도)보다 높기 때문에 모든 금속이 완전히 녹게 됩니다. 교반은 용융물을 균질화하기 위해 전자기적 또는 기계적 수단을 통해 수행됩니다. 분리를 줄이기 위해 온도를 10~20분 동안 유지합니다. 마지막으로, 용융된 금속을 예열된 흑연 또는 구리 주형에 붓고 냉각시켜 고체 합금 잉곳을 형성합니다.
균질 처리: 합금 잉곳을 상자-형 저항로에 넣고 2~4시간 동안 로 냉각 동안 800~950도(합금의 고상선 온도보다 낮음)에서 유지합니다.
열간 가공: 균질화된 합금 잉곳을 섭씨 700~900도 범위의 온도로 가열하는 공정입니다. 그 온도에서 합금은 단방향 단조 기계나 압연기를 통과하여 소성 변형되어 목표 빌렛으로 만들어집니다.
어닐링 처리: 빌렛 공정에는 1-2시간 동안 온도를 섭씨 600~750도로 평형화한 후 공랭 또는 노 냉각할 수 있습니다.
가공: 목표 빌렛은 목표 치수와 표면 조도를 얻기 위해 선도, 선삭, 표면 연삭과 같은 공정을 거칩니다.
구리-니켈-티타늄 합금 타겟 사용
전자제품: 반도체 및 디스플레이용 박막의 장벽층으로 사용됩니다.
광학 코팅: 반사율이 높은 거울 및 필터 생산 측면에 사용됩니다.
내마모{0}}코팅: 공구 및 금형 표면에 견고한 보호 코팅을 제공하는 데 사용됩니다.
장식 코팅: 하드 보호 코팅으로 휴대폰 케이스, 보석류 및 기타 장식 품목을 강화하는 데 사용됩니다.
항공우주: 높은 산화 및 고온에 강한 기능성 코팅을 제공하는 데 사용됩니다.
