티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟

Yitech는 고급 열간 등방성 프레스 공정을 통해 티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟을 생산합니다. 이는 일반적으로 하드웨어 도구 코팅, 장식용 코팅, 반도체 부품 및 평면 디스플레이 코팅에 사용됩니다.

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제품 설명

Yitech는 고급 열간 등압 프레스 공정을 통해 티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟을 생산합니다. 이는 일반적으로 하드웨어 도구 코팅, 장식용 코팅, 반도체 부품 및 평면 디스플레이 코팅에 사용됩니다. 이러한 용도의 이유는 높은 연성(장수명), 높은 열전도도 및 균일한 미세 구조 때문입니다.

티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟 정보

순도: 99.5-99.9%;
원형 : 직경<= 1500 mm x 500 mm;
로터리: 길이<=2000 mm, Thickness: <=15 mm;
타겟 유형: 평면 스퍼터링 타겟, 회전 스퍼터링 타겟.

티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟 분석

티타늄 알루미늄 스퍼터링 타겟	속성	속성	속성
구성 (at%)	티33알루미늄67	티티50알루미늄50	티70알30
청정	99.80%	99.80%	99.80%
밀도 g/cm³	3.29	3.6	3.95
입자 크기(um)	100 이하	100 이하	100 이하
열전도도(W/mk)	98	70	40
열팽창계수(K)	1.9 x 10-5	1.75 x 10-5	1.35 x 10-5