에르븀(Er) 스퍼터링 타겟

에르븀은 란타넘족에 속하는 화학 원소로, 기호는 Er이고 원자 번호는 68입니다. 인공적으로 분리하면 은백색 고체 금속인 에르븀은 항상 지구상의 다른 원소와 화학적으로 결합된 형태로 발견됩니다.

이 원소는 스웨덴의 이테르비에서 산출되는 광물 가돌리나이트에 포함된 여러 희귀 원소와 관련된 희토류 원소이며, 이트륨, 이테르븀, 테르븀도 이테르비의 이름을 따서 명명되었습니다.

에르븀 스퍼터링 타겟은 고순도 에르븀(Er) 금속으로 만든 은 금속 타겟입니다. 녹는점은 1529도, 끓는점은 2863도, 밀도는 9.06g/cm3입니다. 순수한 에르븀 금속은 연성(또는 쉽게 성형 가능)하고, 부드럽지만 공기 중에서 안정적이며, 다른 희토류 금속만큼 빨리 산화되지 않습니다.

Er2O3 스퍼터링 타겟

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