니켈{0}}망간 합금 타겟(가장 일반적으로 니켈{1}}망간 비율이 50:50 at.%인 NiMn 합금)은 자성 다층막 및 스핀트로닉 장치와 같은 기능성 박막을 제조하기 위한 핵심 원자재입니다. 제조 공정에는 고순도, 고밀도, 균일한 구성 및 온전한 구조가 필요합니다.
니켈-망간 합금 타겟의 제조 방법
원료 준비: 순도가 가장 높은(일반적으로 99.9% 이상) 니켈 및 망간 분말을 선택하고 제작할 타겟 재료의 설계된 조성에 따라 비율을 조정합니다(예: Ni-Mn 1:1, Ni-Mn 3:1 등).
성형과정 : 분말을 혼합한 후 금형에 넣고 100~300MPa의 고압을 가하는 냉간등압성형(CIP)을 실시합니다. 이러한 분말 압축은 필요한 강도와 밀도(이론 밀도의 60~80%)를 갖는 "그린 블랭크"로 변환하는 데 성공합니다.
소결: 다음 단계에서는 진공 소결 중에 불활성 가스(예: 아르곤)로 보호된 용광로에 블랭크를 놓고 몇 시간 동안 섭씨 800~1100도 사이의 고온에 노출시키는 작업이 포함됩니다.
처리: 여기에는 절단, 연삭 및 연마를 포함하여 소결된 블랭크에 대한 추가 작업이 포함됩니다. 이는 구성할 대상 재료가 지정된 치수 요구 사항을 충족하는지 확인하기 위한 것입니다.
니켈{0}}망간 합금 타겟의 응용
전자 및 정보 산업: 반도체 제조의 금속 상호 연결 층 및 접촉 층뿐만 아니라 평면 패널 디스플레이 산업의 박막-저항기, TFT-LCD, OLED 및 기타 디스플레이 장치의 전도성 또는 저항성 박막 제조에 사용됩니다.
광학: 광학 장치, 광통신 및 기타 분야에 적용되는 안정성과 전도성이 높은 광학 박막을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.
유리 코팅: 자동차 유리, 건축 유리 등의 코팅 준비에 사용되어 전도성, 내식성 및 기타 유리 특성을 향상시킵니다.
장식 및 보호 코팅: 안경테, 시계, 하드웨어 부품 등의 표면에 사용되며 특수 색상(예: 검정색 니켈), 내마모성 및 내식성을 갖춘 코팅을 제공합니다.
