이온 주입용 WHA(텅스텐 중합금) 부품
일반적으로 텅스텐과 몰리브덴은 이온 주입 시스템, 특히 빔 경로 내에서 사용되는 구성 요소에 중요한 재료입니다. 이러한 재료는 고온, 강한 자기장, 공격적인 공정 가스 등 이온 주입의 가혹한 조건을 견딜 수 있는 능력을 갖추고 있기 때문에 선택되었습니다.
왜 텅스텐과 몰리브덴인가?
높은 융점:
텅스텐과 몰리브덴은 모두 녹는점이 매우 높기 때문에 이온 주입 중에 발생하는 극한의 온도를 견딜 수 있습니다.
부식 저항:
이는 우수한 내식성을 나타내며 이는 이온 주입 공정의 반응성 가스 및 부산물에 노출될 때 매우 중요합니다.
고강도 및 열전도율:
이러한 특성은 구성 요소의 구조적 무결성을 유지하고 작동 중 열을 효율적으로 발산하는 데 필수적입니다.
높은 순도:
고순도 재료는 이온빔과 주입된 재료의 오염을 최소화합니다.
텅스텐과 몰리브덴으로 만들어진 일반적인 이온 주입 구성 요소:
변호사 사무실:
이온 소스와 대상 영역을 수용하는 진공 챔버는 종종 텅스텐, 몰리브덴 또는 이들의 합금으로 만들어집니다.
필라멘트:
이온 소스에서는 텅스텐이나 텅스텐 합금으로 만들어진 필라멘트를 사용하여 이온이 추출되는 플라즈마를 생성합니다.
아크 슬릿:
이러한 구성 요소는 이온 빔의 모양과 방향을 지정하는 데 도움이 되며 종종 텅스텐이나 몰리브덴으로 만들어집니다.
홀더 및 음극:
이온 소스와 빔 경로 내의 다양한 홀더와 음극은 이러한 내화성 금속으로 제작됩니다.
예비 부품:
텅스텐 및 몰리브덴 부품은 임플란트 내부의 다양한 예비 부품 및 교체품에도 사용됩니다.
빔라인 구성요소:
빔 제한기 및 구멍과 같은 빔라인 내의 구성 요소는 텅스텐 또는 몰리브덴으로 만들어질 수도 있습니다.
이온 주입 부품을 제공하는 회사의 예:
그러나 WHA(중형 텅스텐 합금), 특히 W-Ni-Fe 및 W-Ni-Cu 구성은 뛰어난 밀도, 방사선 차폐 특성 및 열 안정성으로 인해 이온 주입 시스템에 널리 사용됩니다. 이 합금은 높은 질량, 내구성 및 이온 충격에 대한 저항성을 요구하는 부품에 이상적입니다.
이온 주입 응용 분야의 주요 특성
✔ 고밀도(17-18.5 g/cm3) - 이온 산란을 차단하고 빔 제어 향상에 효과적입니다.
✔ 우수한 방사선 차폐 – X-선 및 2차 전자 방출을 최소화합니다.
✔ 높은 융점 및 열 안정성 – 변형 없이 높은-에너지 이온 충격을 견딥니다.
✔ 가공성이 우수합니다. (순수 텅스텐에 비해) 정밀하게-복잡한 형태로 가공할 수 있습니다.
✔ 낮은 가스 방출 – 이온 주입기의 고진공 상태를 유지하는 데 중요합니다.
이온 주입의 일반적인 WHA 구성 요소
빔 스토퍼 및 조리개 – 이온 빔을 제어하고 형성합니다.
패러데이 컵 – 이온빔 전류를 정확하게 측정합니다.
차폐 블록 및 콜리메이터 – 원치 않는 이온 산란을 줄입니다.
웨이퍼 핸들링 부품 - 반도체 처리를 위한 내구성이 뛰어난 부품입니다.
절연체 부품 - 필요한 경우 높은 절연 강도.
순수 텅스텐 대신 WHA를 선택하는 이유는 무엇입니까?
더 나은 기계 가공성(Ni/Fe/Cu 바인더 상으로 인해)
파괴 인성이 더 높습니다(순수 W보다 부서지기 쉽습니다).
복잡한 형상에{0}}비용 효율적입니다.
사용 가능한 등급 및 맞춤화
표준 등급: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
맞춤형 구성 및 치수(로드, 플레이트, 기계 부품)
표면 마감: 성능 향상을 위해 광택 처리, 연마 또는 코팅 처리되었습니다.
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